人民網(wǎng)北京9月15日電 （方經(jīng)綸）據(jù)工業(yè)和信息化部官網(wǎng)消息，為促進(jìn)首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)、財(cái)政、金融、科技等國(guó)家支持政策的協(xié)同，工業(yè)和信息化部近日印發(fā)《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》（以下簡(jiǎn)稱《指導(dǎo)目錄》），其中在電子專用裝備目錄下，“集成電路生產(chǎn)裝備”包括氟化氬光刻機(jī)，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
按照市場(chǎng)監(jiān)管總局等5部門于今年4月聯(lián)合印發(fā)的《中國(guó)首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備檢測(cè)評(píng)定管理辦法（試行）》，重大技術(shù)裝備是國(guó)之重器，事關(guān)綜合國(guó)力和國(guó)家安全。中國(guó)首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備，是指國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場(chǎng)業(yè)績(jī)的裝備產(chǎn)品，包括整機(jī)設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。
《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》截圖。